Σταυρός στόχος τιτανίου

Ο στόχος του τιτανίου είναι το προϊόν του τιτανίου υψηλής καθαρότητας μετά την επεξεργασία και είναι κατασκευασμένο από λεπτή μεμβράνη με φυσική εναπόθεση ατμών. Χρησιμοποιείται ως στρώμα φραγμού για καλώδια αλουμινίου σε τσιπ ημιαγωγών.

1. Κύριες απαιτήσεις απόδοσης του στόχου τιτανίου

(1) Ποιότητα εμφάνισης: Πριν από την έξοδο από το εργοστάσιο, ο στόχος τιτανίου πρέπει να καθαριστεί χωρίς σκόνη και η επιφάνεια πρέπει να είναι καθαρή. Μετά την ολοκλήρωση της επιφάνειας του στόχου του τιτανίου, η τραχύτητα της επιφάνειας θα πρέπει να ανταποκρίνεται στις απαιτήσεις των πελατών.

(2) Εσωτερικά ελαττώματα: Δεν πρέπει να υπάρχουν εγκλείσματα, πόροι, ρωγμές και άλλα ελαττώματα μέσα στον στόχο του τιτανίου.

(3) Σύνθεση: Ο στόχος του τιτανίου χωρίζεται σε στόχο καθαρού τιτανίου και στόχο κράματος, στόχο κράματος που περιλαμβάνει στόχο από κράμα αλουμινίου τιτανίου, στόχο νιτρικού τιτανίου, στόχο από κράμα τιτανίου κλπ. Η καθαρότητα του υλικού στόχου είναι 99,9%-99. 999%.

(4) Μέγεθος κόκκων: Οι κόκκοι στόχου του τιτανίου είναι ομοιόμορφοι και λεπτοί και ο μέσος όρος κόκκων ελέγχεται γενικά ότι είναι μικρότερος από 50 μm.

(5) υφή: Ο κρυσταλλικός προσανατολισμός του στόχου τιτανίου<002>προτιμάται και είναι μεγαλύτερη ή ίση με 35%.

(6) Γεωμετρικό μέγεθος: Το μέγεθος του στόχου τιτανίου ποικίλλει ανάλογα με τις απαιτήσεις χρήσης και η διάμετρος είναι γενικά 200-460 mm.

Οι στόχοι τιτανίου μπορούν να χωριστούν σε στόχους μεμονωμένου τιτανίου και σε στόχους συγκολλημένου τιτανίου σύμφωνα με τη δομή τους. Ο ενιαίος στόχος τιτανίου δεν χρειάζεται να συγκολληθεί και η επεξεργασία του Billet είναι ενσωματωμένη. Ο στόχος συγκολλημένου τιτανίου είναι να συγκολλήσει το κενό στόχο τιτανίου με το backplane, οι συνήθεις μέθοδοι συγκόλλησης περιλαμβάνουν συγκόλληση και συγκόλληση διάχυσης. Τα υλικά συγκόλλησης Backplane περιλαμβάνουν το πίσω πλαίσιο από χαλκό και χαλκό, αλουμινίου και κράμα αλουμινίου κλπ. Μετά τη συγκόλληση, γίνεται ανίχνευση υπερήχων για να εξασφαλιστεί ότι η σύνδεση μεταξύ του στόχου και του backplane έχει μια ορισμένη δύναμη συγκόλλησης για να αποφευχθεί προβλήματα όπως η πτώση και η ρωγμή κατά τη διάρκεια του ψεκασμού. Ο πίνακας 9-23 περιγράφει τις απαιτήσεις ποιότητας συγκόλλησης για στόχους τιτανίου.

2. Προετοιμασία του στόχου τιτανίου

Ο στόχος του καθαρού τιτανίου παρασκευάζεται γενικά από τη διαδικασία θερότητας πίεσης της τήξης. Ο στόχος κράματος τιτανίου παρασκευάστηκε με μεταλλουργία σε σκόνη.

Η διαδικασία θερμού συμπίεσης βασίζεται στο πλάγιο τιτανίου υψηλής καθαρότητας που λαμβάνεται από την τήξη. Η μικροδομή και το σχήμα και το μέγεθος του Billet ελέγχονται από τη σφυρηλάτηση, την κυλινδρική, ανόπτηση και άλλες πλαστικές τεχνολογίες επεξεργασίας και στη συνέχεια το Billet έχει επεξεργαστεί για να επιτευχθεί ο στόχος του τιτανίου. Μετά τη διαδικασία σφυρηλάτησης, κύλισης και ανόπτησης, ο στόχος του τιτανίου έχει μια λεπτή και ομοιόμορφη και ανώτερη υφή, η οποία μπορεί να ανταποκριθεί στις απαιτήσεις του στόχου τιτανίου στη διαδικασία ψεκασμού. Η απώλεια στην επεξεργασία της πύλης είναι μεγάλη, συμπεριλαμβανομένης της απώλειας της διαδικασίας χύτευσης τήξης, της απώλειας της διαδικασίας σφυρηλάτησης και κυλίνδρων, διότι η φλούδα οξειδίου πρέπει να μετατραπεί και η απώλεια της επεξεργασίας κοπής είναι επίσης παρούσα, οπότε ο τελικός ρυθμός χρησιμοποίησης είναι περίπου 80%.

Για τους στόχους TIB2, TIAI και άλλων κραμάτων, είναι εύκολο να σπάσουν κατά τη διάρκεια της σφυρηλάτησης και είναι πιο κατάλληλο για επεξεργασία μεταλλουργίας σε σκόνη, δηλαδή η σκόνη τιτανίου και τα πρόσθετα χρησιμοποιούνται ως πρώτες ύλες μέσω της διαδικασίας ανάμιξης σκόνης και στη συνέχεια το μπιλιάρδο επεξεργάζεται με καυτή πίεση ή καυτή ισοστατική δύναμη και στη συνέχεια ο στόχος του titanium. Η μεταλλουργία σε σκόνη είναι η προτιμώμενη μέθοδος για την παρασκευή στόχων κράματος τιτανίου επειδή μπορεί να σχηματίσει κενό ταυτόχρονα, έχει υψηλό ποσοστό χρήσης υλικού και μπορεί εύκολα να προσθέσει στοιχεία κράματος. Τα προβλήματα της μεταλλουργίας σε σκόνη είναι η καθαρότητα του υλικού, η ομοιομορφία της σύνθεσης κράματος και η πυκνότητα. Τα υλικά εσωτερικά ελαττώματα και άλλες πτυχές των απαιτήσεων ελέγχου είναι υψηλές.

Η αρχή λειτουργίας των στόχων τιτανίου σχετίζεται με μια σειρά φυσικών και χημικών αντιδράσεων και χρησιμοποιείται ευρέως σε φυσική εναπόθεση ατμών (PVD), συμπεριλαμβανομένης της ψεκασμού μαγνητρονίου, του ψεκασμού της δέσμης ιόντων και άλλων μεθόδων. Σε αυτές τις μεθόδους, οι στόχοι τιτανίου αποτελούν βασική πρώτη ύλη.

 

Δημοφιλείς Ετικέτες: Titanium σφυρηλάτηση στρογγυλού στόχου, China Titanium σφυρηλάτηση στρογγυλών κατασκευαστών στόχων, προμηθευτών, εργοστασίου